深圳市托理拆利机电设备有限公司是英国Edwards爱德华真空泵授权代理商，为客户24小时提供技术支持及售后服务，针对各个行业工艺端设计提供适合的负压真空系统解决方案，为半导体、平板显示器、LED和太阳能电池制造、工业、制药、化工、科研、加工、玻璃镀膜、食品包装行业等提供优化的真空解决方案。
Edwards爱德华真空泵iH80、iXH、iXL120 LED制造重型真空泵和减排系统解决方案
适用于 LED 制造的重型真空泵和减排系统解决方案
相对于其他照明技术而言，LED具有显著优势，因而对LED的需求出现了爆炸性增长。例如，与白炽灯泡相比，其使用寿命长10倍，并且消耗的能量减少四分之一。照明可能性无穷无尽，尺寸越来越小，切换速度越来越快，输出越来 越高，LED制造商面临既要满足高制程需求，又要降低制造成本的挑战。
较短波长的 LED（绿-蓝）使用基于氮化物的材料，而较长波长的 LED（红-黄）使用基于磷化物的材料。在真空泵和减排系统选择方面，每种材料都会造成独特的制程挑战，因为使用的许多材料都特别有害或处理起来特别危险。
Edwards爱德华真空泵在LED制造制程中采用更多晶圆加工技术 （例如刻蚀、PECVD 和 ICP 芯片生产）方面具有独特优势。真空和减排产品能够在整个关键制程中高度安全、 有效地同时处理高的氢气和氨气流速。
LED制造制程通常对高流量的轻氢和高度腐蚀性的氨气使用 MOCVD， Edwards爱德华真空泵iH、iXH 和 iXL干泵系列均具有更高的粉末处理能力和高的腐蚀性气体耐受性，同时具有更小的占地面积和重量。最新的 STP maglev 涡轮分子 泵系列是紧凑型低功耗“一体化”解决方案，适用于 大容量、高流量应用。
Edwards爱德华真空泵iH系列
iH80 Edwards半导体干式真空泵功能和优势优化了设施消耗，无需预防性维护，悬臂轴和的异型转子便于颗粒的处理。 在节省电机功率的同时大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性，耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体，较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的，整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。
Edwards爱德华真空泵iXH系列
针对的EPI和太阳能制程大幅提高了氢气抽取速度，大容量干泵和增压泵提供扩展的制程窗口以提高产量。 占地面积更小，高度更低，便于在任何工厂中安装。 符合主要的标准，包括 UL、CE 和 S2。可以始终如一地使用或省略不用。
Edwards爱德华真空泵 iXL系列
iXL120爱德华半导体真空干泵-Edwards是紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵，用于水处理和其他清洁工作应用。它可快速 舱室，能耗极低。 iXL120 爱德华半导体真空干泵-Edwards可用于负载锁定和清洁应用的且轻的泵之一。其低振动和低 适合于安装在机台上或工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的工厂地面空间。通过环保模式可在空闲期间降低设备使用操作成本并帮助保护环境。
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